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FFU的知识

2019/2/19 11:07:29点击:

FFU的知识

一、FFU的简介

  FFU英文全称为(Fan Filter Unit),中文专 业用语为风机过滤机组。

  FFU风机滤 网机组可模块化连接使用,使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式 洁净室和局部百级等应用场合。

  FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将 空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后 的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。适用于 在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小,不同洁 净度等级的洁净室、微环境 提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂 房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可大大降低造价,安装维护方便,是洁净 环境的理想部件。

二、FFU特点

  1.风机采用德国ebm直驱式高效离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达5小时或以上。

  2.特别适 合于组装成超净生产线,可根据 工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。

  3.壳体结构选用不锈钢、铝合金、冷轧钢板材料制造,重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。

  4.产品出 厂前均按美国联邦标准209EMETOME尘埃粒 子计数器逐台扫描检测,确保质量。

三、FFU的应用

  FFUFan Filter Unit),是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口,它与其专用龙骨系统(Ceiling Grid)、冷却盘管(一般为干盘管)、加压风机、新风系 统以及专用灯具共同组成了FFU系统。

  FFU的使用 方式是新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压 箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPAULPA送入室内,再经架 空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷()处理后 经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的 系统最为常用于有超静要求的洁净室,如大型 集成电路晶圆的制造、尖端显示器如TFTPDP等的制造、硬盘的制造等。

  其优点如下: 

  1、系统非常灵活,可随时调整  

  因洁净 室的壁板都以天花板格子的模数(如1200*600)来布置,并且由 于其特殊的节点构造,洁净室 的壁板可以随时调整位置,以此改变房间的布局。同时如 果房间的洁净度需要调整,可以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于 通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。

  2、出风均匀稳定

  FFU因自带风机,出风均匀而稳定。避免了 集中送风系统各送风口风量平衡的问题。对于垂 直单向流洁净室尤为有利。

  3、节能显著

  FFU系统风管很少,除新风以风管送达外,大量的 回风以小循环的方式在运行,因此大 大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般为0.35~0.45m/s,过滤器阻力小,FFU的无壳风机功率很小,新型的FFU采用了高效率电动机,同时对 风机叶轮形状也进行了改进,其综合 效率以大为提高。据笔者估算,FFU系统一 般可比集中送风的净化系统节能30%以上,使FFU系统在二、三年内 就可通过节省电费把增加的初投资部分(与集中 送风的净化系统相比)省回来。

  4、节省空间

  因省去 了巨大的送回风管,故可节省安装空间。对于层 高紧张的改建项目非常合适。带来的 另一个好处因风管很少空间相对宽敞而使工期缩短。

  5、风口、灯具、烟感、喷淋、静电中 和器等的合理布局

  这些洁 净室常用装置都在上有各自的安装天花板格子位置,既合理又美观。而在集 中送风的净化系统里这些装置的布局经常冲突,吊顶显得拥挤不堪。

  6、负压密封

  FFU送风系 统的静压箱为负压,因此即 使风口安装存在泄漏,也是从 洁净室向静压箱泄漏,不会形 成对洁净室的污染。

  FFU系统也有缺点:风机数量大,故障机率大。且因FFU布置在吊顶上,维修有一定困难。而集中 风系统因设备较为集中,数量也少,易于维护。但这也不完全是缺点:FFU系统正 是因为数量众多而分散,通常少量的FFU出现故障,并不能 对洁净度造成严重的破坏。甚至可 以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中 送风系统只要一台AHU出现故障,就会造 成大面积的洁净室停止运行,对生产的影响很大。在几乎所有的项目中,冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵 抢救无效都可以做到备份,尽量减 少设备故障对生活的影响。唯独空 调箱的备份几乎没用。FFU系统则 在某种程度上达到了这个目的。

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